รายละเอียดการแก้ไข

บ้าน การแก้ไข

วิธีบำบัดน้ำเสียเซมิคอนดักเตอร์: การแยก การบำบัดด้วยสารเคมี และการนำน้ำกลับมาใช้ใหม่

2026-07-23

วิธี รักษา น้ําเสียจากครึ่งขนส่ง: การแยกแยก, การรักษาทางเคมี และการใช้น้ําใหม่

น้ําเสียครึ่งตัวนําไม่ได้เป็นน้ําเสียอุตสาหกรรมชนิดเดียว โรงงานครึ่งตัวนําอาจปล่อยน้ําที่มีฟลอรได, น้ําเสียกรดและเกลือ, น้ําเสียแอมโมเนีย,น้ําเสียอินทรีย์, น้ําเสียของหมาก CMP และน้ําเสียที่มีทองแดง นิเคิลหรือโลหะอื่น ๆ

คลื่นเหล่านี้มีคุณสมบัติทางเคมีที่แตกต่างกัน และไม่ควรจัดการด้วยกระบวนการการรักษาทั่วไป

การระบุแหล่ง, การแยกน้ําเสีย, การเลือกกระบวนการรักษาที่เหมาะสม, และการปรับปรุงโปรแกรมเคมีโดยการทดสอบห้องปฏิบัติการ

เริ่มจากกระบวนการผลิต

ก่อนการออกแบบหรือปรับปรุงระบบระบายน้ําเสีย ผู้ประกอบการควรระบุแหล่งการผลิต สารประกอบทางเคมี และผลกระทบด้านล่างของแต่ละกระแสน้ําเสีย

แหล่งและสารเคมี

กระบวนการผลิตอะไรที่ผลิตน้ําเสีย
สารเคมีที่ใช้ในกระบวนการ
ว่ากระแสมีสารยับยับหรือไม่

ความมั่นคงของกระบวนการ

ไม่ว่าน้ําเสียจะเปลี่ยนแปลงระหว่างชุดการผลิต
สารสกปรกที่ส่งผลกระทบต่อระบบด้านล่าง

การฟื้นฟูและการใช้ใหม่

จะสามารถนําวัสดุที่มีค่าคืนได้หรือไม่
ว่าน้ําที่ได้รับการบําบัดสามารถนําไปใช้ใหม่ได้หรือไม่

การวิเคราะห์ที่พัฒนาขึ้นจากผลิตนี้มีประสิทธิภาพมากกว่าการปรับสารเคมีหลังจากที่น้ําเสียผสมเข้าถึงหน่วยการบําบัดสุดท้าย

การจัดหมวดหมู่ที่แนะนําของน้ําเสียครึ่งประสาท

ระบบการจัดหมวดหมู่ที่ใช้ได้แยกน้ําเสียตามสารปนเปื้อนที่เป็นหลักและกลไกการบํารุงรักษาที่ต้องการ

คลื่นน้ําเสีย	สารปนเปื้อนทั่วไป	แนวทางการรักษาทั่วไป
น้ําเสียที่มีฟลอริด	อิโอนฟลูอริด, กรดและสารฝนละเอียด	การฝนเกลือแคลเซียม, การตองและการปั่น
น้ําเสียกรดและเกลือ	กรดแร่ แอลคาลี และเกลือละลาย	การแก้ไขและปรับปรุง
น้ําเสียอะโมเนีย	สารประกอบไนโตรเจนและแอลคาลีนของอะโมเนีย	การถอด, การกําจัดไนโตรเจนทางชีววิทยา หรือการบําบัดร่วมกัน
น้ําเสียอินทรีย์	โฟโตเรสติสต์, ดีเวลเลอร์, สารละลายและสารทํางานบนผิว	การรักษาก่อนด้วยสารเคมีทางกายภาพและการรักษาทางชีววิทยา
น้ําเสีย CMP	ซิลิก้า, อลูมิเนีย, เซเรีย, อนุภาคโลหะและสารเคมีการเคลือบ	การหลอม, การหลอม, การทําความชัดเจนและการกรอง
น้ําเสียโลหะหนัก	ทองแดง นิเคิล และโลหะอื่น ๆ	การตกปลาทางเคมี การจับโลหะหรือการแลกเปลี่ยนยอน
น้ําระบายน้ําที่มีปนเปื้อนน้อย	สารแข็งในระยะยาวน้อยและสารปนเปื้อนละลาย	การบํารุงรักษาผิวหนังและการใช้น้ําใหม่

น้ําเสียที่มีฟลอริด

สารพิษอิโอนฟลูอริด, กรดและสารฝนละเอียด

การรักษาการฝนเกลือแคลเซียม, การตองและการปั่น

น้ําเสียกรดและเกลือ

สารพิษกรดแร่ แอลคาลี และเกลือละลาย

การรักษาการแก้ไขและปรับปรุง

แอมโมเนีย น้ําเสีย

สารพิษสารประกอบไนโตรเจนและแอลคาลีนของอะโมเนีย

การรักษาการถอด, การกําจัดไนโตรเจนทางชีววิทยา หรือการบําบัดร่วมกัน

น้ําเสียอินทรีย์

สารพิษโฟโตเรสติสต์, ดีเวลเลอร์, สารละลายและสารทํางานบนผิว

การรักษาการรักษาก่อนด้วยสารเคมีทางกายภาพและการรักษาทางชีววิทยา

CMP น้ําเสีย

สารพิษซิลิก้า, อลูมิเนีย, เซเรีย, อนุภาคโลหะและสารเคมีการเคลือบ

การรักษาการหลอม, การหลอม, การทําความชัดเจนและการกรอง

น้ําเสียโลหะหนัก

สารพิษทองแดง นิเคิล และโลหะอื่น ๆ

การรักษาการตกปลาทางเคมี การจับโลหะหรือการแลกเปลี่ยนยอน

น้ํา ล้าง ที่ มี มลพิษ น้อย

สารพิษสารแข็งในระยะยาวน้อยและสารปนเปื้อนละลาย

การรักษาการบํารุงรักษาผิวหนังและการใช้น้ําใหม่

การบําบัดน้ําเสียด้วยฟลอริด

น้ําเสียที่มีฟลูอเรดเป็นหนึ่งในลําธารที่พบได้ทั่วไปในการผลิตแผ่น

สามารถเพิ่มแคลเซียมไฮโดรออกไซด์, แคลเซียมคลอริด หรือสารปฏิกิริยาที่ใช้แคลเซียมอื่น ๆ เพื่อแปลงฟลอริดละลายให้เป็นน้ําตกของแคลเซียมฟลอริด

อย่างไรก็ตาม ส่วนละเอียดของแคลเซียมฟลอไรด์ที่เกิดใหม่อาจเล็กและยากที่จะลงตัว เพราะฉะนั้น ยาประปาและยาระบายน้ํามักจะใช้เพื่อเสริมการแยกของเหลวจากของแข็ง

หลักการปฏิบัติงาน

pH และปริมาณสารเคมีที่ดีที่สุดควรถูกยืนยันด้วยการทดสอบ เพราะส่วนประกอบของน้ําเสียสามารถแตกต่างกันระหว่างสายการผลิต

01การกําจัดน้ําเสีย

02การปรับ pH

03การเพิ่มสารปฏิกิริยาแคลเซียม

04การปฏิกิริยาและฝนตก

05การเพิ่มสารต้านเลือด

06โพลียาครีแลมิดฟล็อกกุล

07การชี้แจงหรือการระบายอากาศละลาย

08การหนาหนาและการกําจัดน้ําจากโคลน

CMP การบําบัดน้ําเสีย

น้ําเสีย CMP มีอนุภาคบดที่ละเอียดมาก เช่น ซิลิกา, อลูมิเนียหรือเซเรียมโอไซด์ ส่วนอนุภาคเหล่านี้อาจยังคงแขวนอยู่เพราะพื้นผิวของพวกเขามีค่าไฟฟ้าที่คล้ายกัน

ขั้นตอนที่ 1

การตัดเชื้อ

คาติออนคอยูลันต์สามารถลดการขับไล่อนุภาค และทําให้เซสซันเซนไม่มั่นคง

PolyDADMAC
โพลิยามิน
โพลีแอลูมิเนียมคลอริด
สารประกอบประกอบประกอบอื่น ๆ

ขั้นตอนที่ 2

การสร้างตัวกระจก

หลังเกิดความไม่มั่นคง โพลียาครีแลมิดสามารถสร้างสะพานระหว่างอนุภาคละเอียด และสร้างฟล็อกขนาดใหญ่ขึ้นที่สามารถตั้งอยู่หรือลอยได้ง่ายขึ้น

การผสมผสานที่แข็งแรงมักจะใช้เพื่อกระจายสารประกอบเลือด ขณะที่การผสมผสานที่ช้าช้า ช่วยให้ฟล็อกเติบโตโดยไม่แตก

การบํารุงน้ําเสียโลหะหนัก

น้ําเสียโลหะหนักอาจมีทองแดง, นิเคิล, ซิงก์หรือโลหะอื่น ๆ จากกระบวนการเคลือบ, การถัก, การบรรจุและ IC substrate

การ รักษา แบบ ปกติ หมาย ถึง การ ปรับ pH ให้ โลหะ ที่ หละลาย เป็น ไฮโดรออกไซด์ ที่ ไม่ หละลาย. จาก นั้น ใช้ การ เสือ และ การ ผสม เพื่อ กําจัด ซ้อน ที่ หละลาย.

เหตุ ผล ที่ การ ฝนตก แบบ ปกติ อาจ ไม่ ได้

EDTA แอมโมเนีย ซิตราต หรือสารที่สร้างซับซ้อนอื่น ๆ สามารถทําให้โลหะละลายและลดประสิทธิภาพการตกฝน

ทางเลือก การรักษา เพิ่มเติม

การทําลายหรือทําให้โลหะซับซ้อนอ่อนแอ
สารจับโลหะหนักเฉพาะ
น้ําฝนที่เกิดจากซัลไฟด์
การแลกเปลี่ยนยอนหรือการดึงดูดเฉพาะ
สมาธิในเยื่อ
เทคโนโลยีการฟื้นฟูโลหะ

หน่วยจับโลหะหนัก Bluwat สามารถประเมินได้สําหรับน้ําเสียที่การฝนไฮโดรออกไซด์แบบปกติไม่สามารถบรรลุปริมาณโลหะที่ต้องการได้อย่างต่อเนื่อง

การบํารุงรักษาน้ําเสียด้วยกรด แอลคาลีน และอะโมเนีย

น้ําเสียกรดและเกลือ

น้ําเสียที่มีกรดและเกลือมักถูกรักษาด้วยการปรับระดับและปรับเฉลี่ย

การละเมิดควรรับประทานอย่างช้าช้า และผสมให้เหมาะสม การเกินปริมาณ pH ที่เป้าหมาย อาจเพิ่มการบริโภคสารเคมีและอาจทําให้สารพิษบางชนิดละลายใหม่

เหตุ ใด การ ปกครอง pH จึง สําคัญ

การตกของโลหะ
การกําจัดฟลอริด
ประสิทธิภาพการหลอดเลือด
ผลประกอบของพอลิเมอร์
ความมั่นคงของการรักษาทางชีววิทยา

น้ําเสียจากอะโมเนีย-ไนโตรเจน

คอนเซนตรัสต่ําถึงปานกลางอาจถูกรักษาทางชีววิทยาโดยการปรับไนทริฟिकेशनและเดนไนทริฟिकेशन คอนเซนตรัสสูงอาจต้องการการถอดอะโมเนียกหรือการรักษาก่อนแบบแยก

pH ที่มั่นคง อัลคาลินิตี้ อุณหภูมิและออกซิเจนละลายเป็นสิ่งสําคัญ ควรติดตามสารอินทรีย์ที่เป็นพิษและความเกลือสูงด้วย

การบําบัดน้ําเสียทางอินทรีย์

น้ําเสียอินทรีย์ครึ่งประสาทอาจมี:

เหลือของไฟต้านทาน
ผู้พัฒนา
สารละลาย
สารประกอบผิว
สารเคมีทําความสะอาด
อิโซโพริลแอลกอฮอล์
สารประกอบอินทรีย์ละลายอื่น ๆ

การ เลือก การ รักษา

น้ําเสียที่สามารถบีโอสลายได้สามารถรักษาผ่านกระบวนการทางชีววิทยา หลังจากการปรับ pH และการปรับระดับ

คลื่นที่มีปริมาณสารละลายสูง สารประกอบที่เป็นพิษหรือสารอินทรีย์ที่สามารถแยกออกได้ไม่ดี อาจต้องมีการรักษาก่อนด้วยทางกายภาพเคมี การออกซิเดชั่นระดับสูง หรือการฟื้นฟูแยก

สารประกอบเลือดสามารถช่วยกําจัดสารอินทรีย์แบบคอลโลอยด์และไม่ละลายบางส่วนได้ แต่ไม่ควรคาดหวังว่ามันจะกําจัดสารประกอบอินทรีย์ที่ละลายทั้งหมด

การล้างน้ําจากหมาก

การบําบัดน้ําเสียด้วยครึ่งตัวนํา สามารถผลิต sludge ที่มีแคลเซียมฟลอไรด์, โลหะ hydroxides, CMP particles, inorganic coagulant precipitates และสารแข็งทางชีววิทยา

อุปกรณ์ล้างน้ําทั่วไป

เครื่องกดกรอง
เครื่องกดกรองเข็มขัด
เครื่องหลอมศูนย์กลาง
เครื่องดัดสกรู

เป้าหมายการคัดเลือกพอลิเมอร์

Polyacrylamide cationic หรือ anionic สามารถเลือกได้ตามองค์ประกอบของ sludge และอุปกรณ์การกําจัดน้ํา

ผลิตภัณฑ์ที่เหมาะสมควรส่งผลให้มีฟล็อกที่แข็งแรง, ฟิลเลอตที่ใส, การระบายน้ําที่เร็วขึ้นและความชื้นของ sludge ที่ต่ํากว่า

ค่าโพลิเมอร์ที่ต่ําที่สุดไม่ใช่ทางเลือกที่ประหยัดที่สุดเสมอ ควรพิจารณาค่าใช้จ่ายในการจัดการและการกําจัดสลัดทั้งหมด

โอกาส การ ใช้ น้ํา อีก ครั้ง

ไม่ควรนําน้ําเสียครึ่งประสาททั้งหมดไปสู่ระบบการปล่อยปลายเดียวกัน น้ําล้างที่สะอาดและน้ํากระบวนการที่ได้รับการบําบัดสามารถถูกนํากลับมาใช้ได้ผ่านการบําบัดในระยะ

การบําบัดก่อน

การชี้แจง การกรองมัลติมีเดีย หรือการกรองกล่อง

การแยก Membrane

อัลตราฟิลเตอร์และออสโมซิสกลับ

การเคลือบขีดขวาง

การเคลือบขีดขวาง, การฆ่าเชื้อ หรือการออกซิเดนเมื่อจําเป็น

ความสามารถในการนําไปใช้ใหม่

หอคอยปรับปรุงความเย็น เครื่องล้างน้ํา การทําความสะอาดอํานวยความสะดวก ระบบบริการหรือน้ําสําหรับการทําความสะอาดต่อไป

การเลือกสารเคมีในการบําบัดน้ํา

การคัดเลือกทางเคมี ควรพิจารณาเป้าหมายการรักษาทั้งหมด แทนที่จะพิจารณาราคาต่อกิโลกรัม

ยาที่ต้องการ

ขนาดและความแข็งแรงของผง

ความเหมาะสมกับผิวหนัง

คอนเซ็นทรัลโลหะที่เหลือ

ความมั่นคงระหว่างชุดกับชุด

บลูวัต เคมีเคมีคัลส สามารถจัดหาสาร PAC, PolyDADMAC, Polyamine, Polyacrylamide และสารจับโลหะหนักในเกรดต่าง ๆ เพื่อการประเมินในห้องปฏิบัติการ

ขั้นตอนการทดสอบในกระปุกที่แนะนํา

การทดสอบกระปุกในห้องปฏิบัติการสามารถช่วยระบุการผสมสารเคมีที่มีประสิทธิภาพมากที่สุดสําหรับกระแสน้ําเสียที่แยกแยกแต่ละลํา

เก็บน้ําเสียตัวแทนจากสายการผลิตจริง

วัด pH, ความซึมซึม, ดินแข็งในระบาย และสารพิษหลัก

ปรับ pH ตามสภาพฝนหรือการตองเป้าหมาย

เพิ่มสารประกอบเลือดที่เลือกไว้ภายใต้การผสมเร็ว

เพิ่ม PAM ที่ละลายและลดความเร็วในการผสม

สังเกตการเกิดฝูง, ความเร็วการตั้งอยู่และความชัดเจนของ supernatant

ทดสอบน้ําที่ได้รับการบําบัดเพื่อพบฟลอริด, โลหะ, COD หรือปริมาตรเป้าหมายอื่น ๆ

เปรียบเทียบต้นทุนการบําบัดทั้งหมดและลักษณะของ sludge

ขั้นตอนนี้ควรปรับตามประเภทของน้ําเสีย การฝนโลหะหรือฟลอรได ต้องเกิดขึ้นก่อนการประเมินผลการลอกลอกสุดท้าย

Bluwat โซลูชั่นเคมีสําหรับน้ําเสียครึ่งตัวนํา

โพลีอัลมิเนียมคลอริด

ใช้สําหรับการหลอม, การกําจัดของสารแข็งที่ระงับ, การทําความชัดเจนและการบําบัดของน้ําเสียฟลูอริดหรือ CMP บางสาย

PolyDADMAC

สารประกอบเคทยอนออร์แกนิคที่มีการชาร์จสูงที่ใช้ในการเฉือนกลางการชาร์จ, ความไม่มั่นคงของอนุภาคละเอียดและการทําความชัดเจน

โพลิยามิน

เหมาะสําหรับการตองและการกําจัดสารปนเปื้อนคอลโลอยด์หรืออินทรีย์บางชนิด

โพลียาครีลามิด

มีให้เลือกในประเภท anionic, cationic และ non-ionic สําหรับการระบายน้ํา, การทําความชัดเจน, การหนา sludge และการล้างน้ํา

สารจับโลหะหนัก

ออกแบบเพื่อรองรับการกําจัดทองแดง นิเคิล และโลหะหนักอื่น ๆ โดยเฉพาะอย่างยิ่งเมื่อการฝนแบบปกติเพียงลําพังไม่เพียงพอ

เครื่องล้างฟอง

ใช้ในการควบคุมฟองในถังปรับระดับ, อุปกรณ์บํารุงชีววิทยาและกระบวนการน้ําเสียอื่น ๆ

สรุป

การบําบัดน้ําเสียแบบครึ่งตัวที่มีประสิทธิภาพขึ้นอยู่กับความเชื่อมโยงระหว่างการผลิตและการจัดการน้ํา

ฟลูอาร์ได, แผ่น CMP, มลพิษอินทรีย์, แอมโมเนียค และโลหะหนัก มีพฤติกรรมที่แตกต่างกันและต้องการกลยุทธ์การรักษาที่แตกต่างกันการเก็บเก็บแยกสามารถลดการบริโภคสารเคมี ปรับปรุงความมั่นคงในการบํารุงรักษา สนับสนุนการฟื้นฟูทรัพยากร และสร้างโอกาสเพิ่มขึ้นสําหรับการใช้น้ําอีกครั้ง

บลูวัต เคมีเคมีคัลส์สนับสนุนโครงการบํารุงน้ําเสียแบบครึ่งประสาทผ่านการคัดเลือกสารเคมี, การทดสอบตัวอย่างและการปรับปรุงปริมาณสําหรับน้ําเสียอุตสาหกรรมที่ท้าทาย